PWB-820222-2 ASML PCB Analog G/Ç Kartı

Tanım

ASML PWB-820222-2, birAnalog Giriş/Çıkış (G/Ç) Kartıözellikle ASML'nin içinde kullanılmak üzere tasarlanmıştırSVG 90S litografi ray sistemleriBu sistemler, fotorezist uygulanarak ve işlenerek silikon levhaların pozlamaya hazırlanması için yarı iletken üretim sürecinde kritik öneme sahipti.Analog Veri Edinimi:Isıtma plakalarının sıcaklığı, kaplama ve geliştirme odalarındaki basınç, kimyasalların akış hızları ve mekanik bileşenlerin konumları gibi parametreleri izleyen sensörlerden sinyaller alınır. Kart daha sonra bu analog sinyalleri sistemin merkezi işlem biriminin yorumlayıp tepki vermesi için dijital verilere dönüştürür.

ÖZELLİK

Çoklu Analog Giriş Kanalları:Çeşitli proses parametrelerini izleyen birden fazla analog sensörden gelen sinyalleri almak üzere tasarlanmıştır.

Çoklu Analog Çıkış Kanalları:Sistem içindeki aktüatörleri ve kontrol cihazlarını çalıştırmak için analog kontrol sinyalleri üretme yeteneğine sahiptir.

Analog-Dijital Dönüşüm (ADC):Sistemin kontrol ünitesi tarafından işlenmek üzere gelen analog sinyalleri dijital verilere dönüştüren yerleşik devreler.

Dijital-Analog Dönüşüm (DAC):Dijital kontrol komutlarını harici cihazlara çıkış için analog sinyallere dönüştürme işlevi.

Başvuru

Sıcaklık Kontrolü:Fotorezistin pişirilmesi için gereken hassas sıcaklıkları korumak amacıyla ısıtma plakalarındaki sıcaklık sensörlerinden gelen sinyallerin alınması ve ısıtma elemanlarına kontrol sinyallerinin gönderilmesi.

Basınç Düzenlemesi:Kaplama ve geliştirme odalarındaki basınç seviyelerinin basınç dönüştürücüler kullanılarak izlenmesi ve bu işlemler için optimum basıncın korunması amacıyla vanaların veya pompaların kontrol edilmesi.

Akışkan Akış Kontrolü:Fotorezist ve geliştirici solüsyonların dağıtımını izlemek için akış sensörleriyle arayüz oluşturma ve akış hızlarını doğru bir şekilde düzenlemek için pompaları veya vanaları kontrol etme.